六氟乙烷（C2F6）
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詳情介紹:
六氟乙烷（C2F6） |
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化學(xué)式 |
C2F6 |
中文名稱 |
六氟乙烷 |
英文名稱 |
Hexafluoroethane |
CAS No. |
76-16-4 |
分子量 |
138 |
充裝系數(shù) |
1.06kg/L (氣瓶公稱工作壓力12.5MPa時(shí)) |
應(yīng)用 |
在等離子工藝中作為二氧化硅和磷硅玻璃的干蝕氣體。可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對(duì)其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。亦可用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑。 |
六氟乙烷（hexafluoroethane），又稱全氟乙烷，是乙烷中六個(gè)氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物，是鹵代烴，亦是烴類化合物乙烷所對(duì)應(yīng)的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。
