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電子特種氣體

三氟化磷(PF3)

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詳情介紹:

三氟化磷(PF3)
   
化學(xué)式 PF3
中文名稱 三氟化磷
英文名稱 Phosphorus  Trifluoride
CAS No. 7783-55-3
分子量 87.969
充裝量  
應(yīng)用 發(fā)生氣體、氟化劑、外延、離子注入。作為氣態(tài)磷離子注入源。

  三氟化磷是一種無機(jī)化合物,其化學(xué)式為PF3,在常溫常壓下為無色無味的有毒氣體,液態(tài)時(shí)為無色透明液體,空氣中不太發(fā)煙,相當(dāng)穩(wěn)定,加熱時(shí)與氫反應(yīng)生成PH3,能與水反應(yīng)生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解??扇苡谝掖?。除在高溫外,不腐蝕玻璃。
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