氨氣(NH3)
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詳情介紹:
| 氨氣(NH3) | |
| 化學(xué)式 | NH3 |
| 中文名稱 | 氨 |
| 英文名稱 | Ammonia |
| CAS No. | 7664-41-7 |
| 分子量 | 17.031 |
| 充裝系數(shù) | 0.53kg/L |
| 應(yīng)用 | 高純氨氣主要用于大規(guī)模集成電路減壓或等離子體CVD,以生長二氧化硅膜。 |
| 產(chǎn)品純度 | ≥99.999%~≥99.9999% |
電子特種氣體
| 氨氣(NH3) | |
| 化學(xué)式 | NH3 |
| 中文名稱 | 氨 |
| 英文名稱 | Ammonia |
| CAS No. | 7664-41-7 |
| 分子量 | 17.031 |
| 充裝系數(shù) | 0.53kg/L |
| 應(yīng)用 | 高純氨氣主要用于大規(guī)模集成電路減壓或等離子體CVD,以生長二氧化硅膜。 |
| 產(chǎn)品純度 | ≥99.999%~≥99.9999% |
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